7nm高端DUV光刻机出口被撤销！ASML：中国客户积压订单都已交付

刘绪刚

快科技1月2日消息，据ASML官方公告，2023年NXT：2050i、NXT：2100i光刻系统的出货许可证被撤销，不过这没有太多可以担心的地方。
按照ASML的说法，2023年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单（至于2024年是不是可以继续，ASML之前就表示不能确定。）。
事实上，2023年ASML一直都在向中国客户供应光刻机，其中就包含了NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品，且基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。
至于先进的7nm、14nm等先进的EUV光刻机，ASML依然不能给中国客户出售。
据ASML官网提供的信息，该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
ASML官网上关于这一台TNXT:1980Di介绍，在分辨率方面，写到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而这是指一次曝光分辨率，事实上光刻机是可以进行多次曝光。