DIY扫描电镜第三章~真空腔设计改进及电子枪试验

liukai163

:lol:大家好！新站第二贴我又又又来折腾SEM了！先上几个前几章的连接：
第一章~真空系统
第二章~真空腔焊接

这次第三章了为啥还在折腾真空腔呢................因为实际制作完成之后我就发现一个很严重的问题
真空腔与泵系统连接设计导致分子泵很难发挥全效效率极低，要完全抽到1e-4以下需要俩小时以上这谁能忍受。。。。。。
所以就有了这一章的内容   下面请各位看官开眼   好戏开始了:titter:



言归正传，过年之后柜台划分变动搬家一次。来到新地盘之后就盘算该把这套东西弄个架子装上了，于是就去五金市场买了点组合货架来
反正是试验阶段嘛   不要求他有啥质量只要求他别占用我柜台或者桌子的空间就好

组装一下还挺合适



闲来无事抽真空就发现这东西有时候分子泵运行中会抖一下怀疑分子泵电源还有暗病就挂了个示波器监视着


后来发现没啥异常就琢磨着是不是该找个小白鼠到真空腔里面去试试。。。。毕竟不知道这真空度究竟灯丝能不能挺得住
于是就砸碎了一只6P15电子管塞进去了...............


没想到啊   这管子在真空腔里顽强的活了大概有80多小时没死掉看来这真空度还可以    是时候开始搞高压电源的输入连接线了



为啥说这高压电源连接线不好弄呢，第一点嘛自然是这东西要耐高压，不然跳火引弧怎么办啊。第二点嘛就是要能密封住高真空啊
思前想后只有拆电容用铜板自己做了
买了点这种国产瓷管高压电容拆掉内脏没想到里面油还真多..................



然后找朋友@kreina 用CNC铣了两个厚铜板做出KF25密封环的安装槽焊接这个陶瓷管
BGA返修台搞这玩意比啥都好使啊   分分钟搞定


看看焊上高压线还行吧


夹上密封圈扣上卡匝装到腔体的KF25接口   还像是这么回事


既然高压有了    低压有了    那么就是时候切个示波管塞进去试试电子枪能不能射出东西来了
金刚砂切割片伺候


三下五除二连同荧光屏一块切开


有了电子枪还得有高压电源实验用啊    毕竟是实验不想接那个0-30KV的电源  太鸡儿麻烦了  自己做吧   SG3525伺候


把电子枪的引脚焊接到真空腔体的电气连接线上准备抽真空


于是就遇到了文章开头讲的问题，由于泄压操作以及腔体内容物增加的缘故抽了接近3个小时才抽下去实验
加上高压的瞬间电子束就射到了荧光靶面上     OK电子枪好使真空高压连接头好使


晚上到家就开始琢磨不能以后每次放样品都这么操蛋吧   于是就有了下图的改进方案


话不多说    立马去马云家下单买一堆破铜烂铁回来开始准备焊接


下班来到朋友家老规矩  好酒好菜


很快就焊接完毕    喝酒去！


期间补了好几个漏点    最终完成之后看起来还像模像样



:titter:未完楼下待续

liukai163

书接上文刚才好像漏发了打压检漏的照片   补一个吧   
看看惨不惨


弄完之后真空腔侧面


打开分子泵抽一下   由于腔体连接方式与容积的改变十几分钟就能抽到预定压力


之前在YouTube上看一个外国佬搞，真空腔用了个HP的真空计，十分情怀念念不忘，忽然有一天在日拍看到了这东西
价格可以接受于是立马出手拍下等待一个多星期收到个包裹


里面正是这个垂涎已久的真空表


庐山真面目   HP59822B 电离规控制器


与他的小弟菊花牌59864B合影


连同真空计一起寄来的还有好几张小鬼子的报纸.....尼玛咋跟国内的报纸一样满篇都是卖药的呢


真空计还没急着通电测试先长了个心眼感觉这东西很沉应该是变压器的就看看有没有电压选择
一看果了个然！差点被坑死啊卧槽


调整好电压拆开外壳准备测量各路电压是不是正确



这大电感似乎是电离规栅极高压的升压电感啊    真粗壮


确认无误后随便接上个规管通电   有读数了但是规管系数差异的原因真空度不准确不过也好起码知道这东西是好的



既然都改了真空腔了干脆就连支架一块改进一下吧   起码别叫他来回晃悠再给分子泵晃死了
于是又买来若干组合货架型材开始动手



拆散的东西都丢角落里吃灰去


木板   曲线锯伺候   


放上分子泵试试还凑合    不会乱晃而且很结实


就这么着吧，组装好系统通电试机看看有没有组装错误的连线之类的  
还好一切正常


:titter:
楼下继续

liukai163

书接上文

机缘巧合   机缘巧合下...........在马云家乱翻的时候发现一个卖电子垃圾的垃圾佬手里似乎有两只规管一个是菊花用的一个是惠普用的
马上下单付款等待几日后到货


Oh卖批啊，这个惠普的规管为毛这么大个！至于具体多大呢   后面有对比介绍


然后随之而来的就是尴尬............这俩规管没有一个能买到现成的连接适配器的
操.....................自己做吧  首要的是先测一下这东西能不能用毕竟规管是损耗品


先把小的接菊花真空计上测试  OK好使（惠普那个用的是普发的规管所以两个表读数不一致）


紧接着是大的接惠普上  通电的一瞬间我就TM瞎了..............咋这么亮


对比一下看看安捷伦那个真TM委婉



各位看官可能也看出来了   我为了偷懒，用了个橡胶垫子垫在规管和法兰之间，直接利用大气压力把规管临时密封上的
这样很危险一旦泄压立马烧毁规管不说还有可能冲击分子泵造成分子泵损坏
所以嘛要自己做一个连接器（鉴于安捷伦那个不够骚就不用他了还是用惠普的）
取一个KF25转KF16的法兰转换头，讲KF16端涂抹少量硅胶套上一个胶卷盒（巧了，这胶卷盒直径和KF16是一样的）


然后给规管玻璃边缘也均匀涂抹一层硅胶并粘在KF16法兰上（这么做一是为了防止环氧树脂流出   二是为了防止真空应力压碎玻璃端面）


待硅胶固化后倒入调配好的环氧树脂


等丫固化好了装真空腔上试试   OJ8K！


至于之前说要对比一下看看这玩意有多大啊...................FU-5电子管有概念吧     手里捏着FU-5合影
这熊玩意居然还比FU-5粗一圈啊！


真空腔有了那么是不是要抽点啥找找乐子呢..........................@kreina 葫芦光临寒舍带来个热成像的传感器
就拿他开刀吧    里面有个钛泵拆开它装真空腔里激活一下钛泵看看是啥样的
待宰的羔羊 160*120分辨率  自带TEC制冷


先放气    加热工艺口


然后电磨加金刚砂打磨头人肉CNC跑一圈开颅完成


葫芦大佬忍不住开始拍照了............................


内部结构   可以看到钛泵和TEC


准备给丫塞进去受刑


抽个真空开始量刑     除了看出来钛泵发红啥尿性没有失望啊....................



本章剧终
下一章开始讲解电子枪制作敬请期待



DIY扫描电子显微镜第四章~电子枪升级
https://www.mydigit.cn/forum.php?mod=viewthread&tid=120457

liukai163

mousebat04 发表于 2019-5-21 09:14
楼主威武呀。能文能武，敢想敢做！这些都是小菜菜，你这逗B文风，还是个二次元宅，真让人惊为天人。
还有， ...

有尼康D700和飞思645DF   佳能70D是不是就只能当垫脚石的份呢........................

liukai163

mousebat04 发表于 2019-5-22 08:38
擦，645D,这玩意是中画幅？

飞思自然是中画幅

liukai163

beyondwpscq 发表于 2019-5-30 14:38
四川人吧。

不晓得您从哪看出来个四川人的结论？

liukai163

yilingking 发表于 2019-5-29 21:00
国产真空镀膜使用机械刮片泵一级，罗茨泵二级，热油扩散泵三级可抽到-4级别 ...

这套不用罗茨泵也可以抽到-6

liukai163

alicescope 发表于 2019-5-22 17:17
这么多东西总不会在家里弄得吧

自己店里    跟家里也没啥区别

liukai163

魂の殇 发表于 2019-5-20 14:41
电镜扫描出来的照片呢？有没有啊

一看就是没认真审题的

liukai163

MOTOTOLALA 发表于 2019-5-20 21:28
钢铁侠再世
楼主喜欢钢铁侠吗？超级英雄里最，喜欢的就是钢铁侠了。

我十分讨厌漫威的东西

liukai163

bjxsgzs 发表于 2019-5-31 19:19
传个类似的
离子镀 旋片泵+扩散泵可达到2Pa。根据客户要求，整机不能上传。
大概高两米，占地约100平。包 ...

2Pa？？？？普通旋片泵就能得到这个真空度啊

旋片泵加分子泵或者扩散泵抽到4e-8Torr/5e-6Pa