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第一次发帖,之前有北部前辈写的x光管的DIY神贴,刚好也做x光的component,到手了价值几万的相衬光栅元件,这东西还是比较少见,我也是第一次见实物,发个开箱贴作为处女帖。
LIGA工艺是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术(工艺流程如图所示),主要包括X光深度同步辐射光刻,电铸制模和注模复制三个工艺步骤。由于X射线有非常高的平行度、极强的辐射强度、连续的光谱,使LIGA技术能够制造出高宽比达到500、厚度大于1500 μm、结构侧壁光滑且平行度偏差在亚微米范围内的三维立体结构。这是其它微制造技术所无法实现的。LIGA技术被视为微纳米制造技术中最有生命力、最有前途的加工技术。利用LIGA技术,不仅可制造微纳尺度结构,而且还能加工尺度为毫米级的Meso结构。以上来自度娘。
开箱的两个元件来自德国Microworks的x光相衬成像光栅,Liga技术做的。这是我见过的真正意义上的MEMS元件。跟大家一同分享。
先上个用法原理图
包装很结实,国际货运对得起运费。
塞满了,映入眼帘的说明书和实物
包装很严谨,外部有塑封,内部有holder固定,贴了厂家的logo,并做了手动标记区分G1和G2
这个是G1光栅,圆型的,
说明书上写了使用方向和一些参数。Liga技术可以把栅线的高宽比做的很高,这个是很多人在研究的,听说国内物理所在研究这个技术,技术路线的也没调查过,不清楚。
上图是精细结构,一根白线差不多1.7个um宽,这个应该是电镜拍的,有点密集恐惧。看的眼花
下图这个是吸收光栅,把g1得到信息还原出来,后面接个探测器,通过算法再把G1前面的样品信息图像还原。
每一个白色的节是2微米,单根细的白线不到1微米。更多的我也不懂了。
虽说可以再空气里拆开,但是为了安全起见还是到了实验室环境再拆开吧。
仅作技术探讨,我也在学习中,很多不知道,欢迎了解的朋友留言,我好多学习
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