国产图像传感器厂商格科微成功搬入 ASML 先进 ArF 光刻机

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IT之家 3 月 27 日消息，据格科微电子微信公众号，3 月 24 日，格科微顺利举办 ASML 先进 ArF 光刻机搬入仪式。此前，格科微电子于 2 月 16 日开始主设备的搬入安装。

3 月 24 日，格科半导体整套生产线中的最关键设备 ——ASML 先进 ArF 光刻机成功搬入。据介绍，ArF 光刻机的成功引入，是格科微“12 英寸 CIS 集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点。

格科微表示，将进一步加快先进 CIS 工艺和高阶专利像素的研发速度，并在自有工厂实现批量生产验证，缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。

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