8英寸晶圆扩产热潮来袭，国产设备迎来发展良机

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来源: 爱集微

12月13日，在2019中国（珠海）集成电路产业高峰论坛上，北方华创首席科学家刘韶华进行了《NAURA助力8英寸特色工艺市场创新发展》的演讲。

刘韶华指出，在市场驱动下，未来几年功率器件市场增速最快，达到23%；MEMS传感器达到18%。据SEMI相关数据，在旺盛的市场需求下，2019-2022年间，8英寸产能将增长14%，约70万片/月。

8英寸晶圆代工厂具有成熟制程、特色工艺开发、产品多样化、固定成本低、运营成本低等优势，而物联网等半导体第三波发展浪潮为200毫米晶圆厂注入了新的活力，预计在2030年前市场持续增长。台积电、联电、世界先进的8英寸代工产能满载，均有扩产计划。

伴随着旺盛的市场需求，大陆迎来了8英寸扩产浪潮。中国大陆8英寸晶圆厂现有产线23条，在建产线6条，目前产能约80万片/月。据SEMI预测，到2020年底，中国大陆整体的8英寸硅晶圆供应产能将达到130万片/月。

而新建月产能9万片的8英寸成熟制程工厂，大约需要800台各类设备，其中氧化退火、刻蚀以及CVD是需求最多的工艺设备种类，随着大陆扩产热潮，设备市场前景可期。

据Surplus Global统计，近年来全球8英寸二手设备供应量逐年萎缩，2018、2019供应量不足500台；由于二手设备流通量逐渐减少，导致设备价格在过去的几年内快速上涨，目前二手设备价格处于历史高位并且还在上涨；在这种背景下，部分国际大厂恢复了200mm的业务，享受市场供需紧张带来的收益，以较高的价格出售新机台。

刘韶华表示，8英寸设备市场需求旺盛，前景可期，而新工艺新应用也带来了很多新挑战，目前，国产设备面临设备老旧、能力不足、核心设备严重短缺等问题，面对这种状况，刘韶华提出了“国产设备，特色开发”。即定制开发、持续的工艺创新、产业链深度合作、针对新需求的硬件设计、专业的本土化服务团队。

而技术发展引入的新材料、新技术和新工艺也对设备提出了更高的要求，因此国产厂商需加强合作、紧跟创新技术发展的需求。