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各位坛友过年好！三十中午想起来发个帖子结果不知道这边于是发到老站去了.......想起来这边已经都初八开业上班了:sweat:
响应组织号召向新站靠拢搬家过来！
正文之前先上个传送门：DIY扫描电镜第一章
OK 开始正题:titter:
首先续上一章，设计图
根据这张图么.............需要159*3不锈钢管一截 159*3不锈钢三通一个 ISO法兰若干 KF法兰若干 不锈钢板一块 于是去马云家下单
没几天收到一堆废铜烂铁
跟做不锈钢加工的朋友沟通一下 下班之后带着这堆废铜烂铁带上点好酒弄几个好菜去他门头搞一下
两个KF16法兰两个ISO160法兰焊完之后大概就是这么个尿性的..........当然不可能一次性做到气密良好肯定反反复复焊了好多次
毕竟不是专业的压力容器焊工
回过头来继续讲分子泵驱动，之前不是提到过这个东西用自制驱动会抖么................
后来查了一下丫是个四相BLDC 淦！.............无奈按照官方手册给的图纸照抄核心部分做个驱动却怎么也不灵光
没办法咸鱼蹲一下吧，果然某天蹲到了一个坏的普发TCP300 卖家说送个剪掉线的分子泵接头
收到之后的照片：
分子泵接头（这破玩意买新的可不便宜.......千把块）
透过被剪断的一头看很瓷实的一把线..........
后面的接口 左面最大的那个就是链接分子泵的，此控制器不光能控制分子泵启停加速定时还能控制分子泵加热散热
和压力保护联动功能多多故而后面接口这么操蛋
身份标签 德国普发 正宗德味儿
正脸 缺失两个按钮不过没啥用 一个是复位一个是加热用不到的功能
驱动器顶盖上还带个遭雷劈的标
既然是坏的吧...那么就得硬着头皮修啊 这货通电一丁点反应都没有 开盖看看先
凑 密密麻麻的...........看来真得硬着头皮修了（好在普发给出了一份TCP270的手册里面有部分原理图，虽然这个是300但是大同小异）
分子泵驱动核心板部分 使用了大名鼎鼎的NE555作为定时芯片控制分子泵加速斜率
既然这货故障是不通电那么就得从电源下手啊.........测量保险都通而且没有烧毁痕迹
那么就开始从电源端排查 电源部分俩蓝六角（这不老烧的最爱么..........）
主电源的核心——大名鼎鼎的SG3525（要知道这个电源可是80年代的东西）
主电源开关管这牌子.................西....西门康？
通电测量 主电压220V在桥堆正常 整流之后主滤波电容充电正常 辅助电源变压器输出正常
既然他半点反应都没那么肯定要先从驱动核心3525下手 于是量一下3525的供电
这一下不得了 居然TM短路！ 看来是3525挂了？
好在这板子所有IC都是座子插上的 拆下来量一下就得于是乎开始拆开关电源驱动板
不得不说德国佬做东西是舍得下本 WIMA 黄豆 一应俱全
主角 SG3525 还是陶封的~年代久远（红色WIMA后面那个DIP16的IC也是SG3525，那只3525是分子泵调速线性电源的驱动）
主角特写 这年头想找这么个3525恐怕是不容易了（虽然这玩意极不值钱）
拆下来一量问题来了...........本来短路的VCC居然TM不短路了......3525本身也不短路 见鬼么
于是乎转念一想 短路点可能不在3525身上而在电源驱动板上 很可能是某个GDT驱动管挂了
电源板正脸照
本着先易后难的原则戳一下整个板子上唯一一个VCC总线上的钽电解电容 果然................就是丫短路！！！！！！！！
拆掉换之短路故障排除
虽然短路点消失了但是吧...........上电丫还是没反应 3525 VCC只有4V多一点看来还是有短路的地方
这下可头疼了 板子上走15V 供电的IC不在少数到处都是黄豆粒 恶心死了
分子泵驱动板上清一色的黄豆粒和WIMA
做工甚是“HIFI”
后来一想..................洒家不是有热成像么.....拿出来干他丫的
果然在照妖镜面前这货露出了丑恶的嘴脸
短路点在这俩三极管身上
翻过来一量....bingo！
拆下来看看是个啥玩意吧 但愿不要是那种找不到型号的奇葩玩意（早起欧洲电源很喜欢使用现在买不到型号的管子.....）
MCR104？？？？这不可控硅么
确实是这玩意短路了（这里就不得不提一下欧洲人的脑洞，欧洲人设计开关电源的时候经常在保护电路内使用这类结构，用小功率可控硅来保护开关电源，一旦电源辅助电路出现故障可控硅击穿拉低辅助电源使驱动IC停止工作从而保护主电源不会出问题。。。。真TM暴力）
既然找到症结了 出门买一个去吧......这原型号的肯定是买不到了找找替代品吧
骑上电驴子出门转了一圈 这小城市里唯一两家电子杂货铺买到了两只MCR106 得凑合用吧
换上之后 接上40W的隔离变压器躲得远远的通电
啊蛤蛤蛤蛤蛤蛤蛤 这货亮了
罪魁祸首合影留念（电容被我扔垃圾桶里了.........找不到了）
这货亮是亮了关键是顶不顶用呢.........驱动部分别有毛病才是真修好了
于是开始折腾分子泵的接线
四相五线电机+霍尔 一大把线 对照手册给出的顺序耐心编号准备一根一根焊接延长
标好序号之后找一段合适的线然后一根一根接上 长度嘛......根据自己需要来 1米之内就足够手册讲最大80米......
由于没有驱动器一端的插头所以只能把每根线剥皮之后上锡然后捅到驱动器插座内......................................
这把线搞了一个多小时........
接下来就是见证奇迹的时刻 插头与分子泵连接好 准备上电
接通机械泵后待气压抽到0.4pa 按下启动开关 伴随着咔哒一声继电器动作 泵转起来了...........
一分钟之后泵达到最高转速
不得不说 德国佬的东西真厉害 分子泵全速运转下丝毫感觉不到任何震动
钢镚放上面都不带动的
OK 这个电源算是修好了 之前做的垃圾玩意与它合影留念 垃圾桶走着
验证驱动器可用之后就得收拾一下那把线了......乱糟糟的肯定不行啊
于是乎从新做一下把霍尔的线用铝箔胶带裹好做好屏蔽套上热缩管
OK 大功告成 插座上面的电位器是为了让驱动器识别分子泵型号的（不同型号分子泵转速有所区别）
接好线 上机实验。可以轻松抽到4.3X10-7 Torr而且压力还在缓慢下降 这已经很了不得了
泵和罐凑起来看看 还像是这么回事
抽一下可以轻松抽到1e-4Torr 已经够用了
修好了泵的驱动器下面就开始准备真空腔的电气连接了 SEM需要灯丝 偏转 聚焦 二次电子探测 加速高压等等电气信号
所以气密连接是必不可少的
对于低压可以选择玻璃烧结气密航空插 如下所示
那么要在圆形的真空腔焊接安装这东西显然是不现实的所以.....有了个馊主意
把这玩意装在KF25法兰上！
法兰么....肯定要比市面上买的厚才行于是就打起了歪主意切个坏掉的PBR260电离规用
切开之后 阳极 栅极 灯丝（灯丝为纯铱外涂氧化物）
在法兰盘上开四个槽焊接螺丝（用电磨干的 差点累死）
放上去试一下还挺好的 就这么定了
低压有了 高压咋办呢？ 毕竟几KV-几十KV 还是KF法兰伺候 KF法兰+铜片开孔焊接高压磁柱密封 歪主意不怕馊
于是购买开孔器 法兰盘再去伙计那搞他一家伙
焊完了看看还算凑合...........就这么地吧 不漏就行 喝酒去！
第二天回到店里 给航空插焊线
做完的线束 长度还算达标
拧上螺栓固定好气密航空插 嗯.............像模像样的
组装好管件和真空表 抽他一家伙试试能不能抽下去
腔体侧面（直接把真空规装腔体上了....反正电极铜片还没雕刻好正好用它来堵住这个窟窿嘛）
0-30KV高压电源与0-1KV高压电源合影 电子枪部分年后另行开贴
年前一段时间搬了个柜台 东西全都拆散打包封箱了
今天收拾利索新柜台后把拆散后的泵组装起来试验了一下
卧槽 这压力一路从-3跑到了-8而且压力还在缓慢下降.....开挂了
普发电离规给出的模拟电压信号是对数关系而且默认单位是mbar 要计算结果之后换算成Torr
利用度娘的工具换算结果如下 5.35e-8 Torr 卧槽这可是很了不起的结果了就算以后不天天玩这个电镜也可以吹个电子管玩玩了啊 （电子管要求-5Torr而已）
本章 完 谢谢观赏
（最后说一下这个DZ真的比PW人性很多不用一层一层占楼发帖，一层全搞定了真舒服.....）
DIY扫描电镜第三章——真空腔设计改进及电子枪试验
https://www.mydigit.cn/forum.php?mod=viewthread&tid=38280
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雷达卡
发表于 2019-2-13 19:39:24
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千斤顶
发表于 2019-2-13 19:55:23
