ASML首台新款EUV光刻机Twinscan NXE:3800E完成安装

刘绪刚 · 发表于 2024-3-13 13:48:11

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IT之家 3 月 13 日消息，光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装，新机型将带来更高的生产效率。

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IT之家查询发现，ASML 官网尚未上线 Twinscan NXE:3800E 的信息页面。
除了正在研发的 High-NA EUV 光刻机 Twinscan EXE 系列，ASML 也为其 NXE 系列传统数值孔径 EUV 光刻机持续更新升级，未来目标在 2025 年推出 NXE:4000F 机型。
上两代 NXE 系列机型 3400C 和 3600D 分别适合 7~5、5~3 纳米节点生产，德媒 ComputerBase 因此预测 3800E 有望支持 3~2 纳米的尖端制程。
根据 ASML 此前分享的 2021 版路线图，Twinscan NXE:3800E 系统将相较上代 3600D 在对准精度（Overlay）和产能上进一步提升，可实现 195 片晶圆的每小时吞吐量，相较 3600D 的 160 片大幅提升近 22%，并有望达到 220 片的目标（对应提升 37.5%）。

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2021 年版 ASML 光刻机路线图。

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