华为李小龙揭秘EUV工艺：半导体领域重大突破

hnjb163

　　作者：小淳

　　9 月 7 日，华为手机产品线副总裁李小龙在微博科普了一番麒麟 990 5G 使用的 EUV（极紫外线）光刻工艺。

　　李小龙赞叹道：“这次发布的麒麟 990 5G 使用了 EUV（极紫外线）光刻工艺，光刻设备的波长从之前的 193 纳米缩短到了 10 几纳米，这在半导体领域是非常大的一个突破。正是基于这项技术，我们才能够在约 200mm2 的面积下集成了 103 亿颗晶体管，几乎比上一代产品增加了一半。”

　　但 EUV 究竟是什么呢？李小龙推荐了一篇科普文章，感兴趣的读者可以前往围观，简单来说，EUV 是极紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography）的缩写，常称作 EUV 光刻，它以波长为 10-14 纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。

　　麒麟 990 5G 采用了台积电的 7nm+ EUV 工艺，此前有消息称，苹果的 A13 也已经锁定台积电 7nm+。

　　此外台积电还透露， 正稳步推进下一代 5nm 工艺，全面应用 EUV 技术，已经开始风险性试产，预计 2020 年第一季度量产。另外台积电还有个过渡性质的 6nm 工艺，基于 7nm 改进而来，预计 2020 年第一季度试产，非常适合现有 7nm 工艺用户直接升级。

壹筒江湖

李小龙挂在王美丽的手里