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大家过年好! 我我我我我又来折腾SEM了!:titter:
今年下半年事情比较多,好多客户送示波器来修,加上大厦柜台变更折腾了一个月。
这一大堆事凑一起,所以SEM这事也没啥大动作,致使本身就是胡子工程的扫描电镜变得进展格外缓慢。这不过年了又因为最近闹的沸沸扬扬的肺炎这事没法出门,憋在家里索性整理了一下这半年的零碎照片凑。一锅煮一煮发上来给大伙凑个下酒菜得了。废话少说书接正文大伙上眼。
上回书说到用不锈钢镜面管焊接的真空腔等待安装电子枪部分,但是这个电子枪格外不好调整。一开始使用CRT电子枪但是效果总也不理想主要原因还是电子枪结构不同,CRT电子枪聚焦环过短
导致聚焦达不到扫描精度要求其次CRT电子枪电极间距较短在高聚焦点压下会跳火十分糟糕。至此整个系统似乎陷入了一个僵局,但是偶然有一天神仙群(一个QQ群里面大部分都是一天到晚发表神仙见解高论的群)一个大哥跟我说他手里有几个很古老的商品电镜的枪可以提供给我一支做试验用,于是一番交流之后确定了收货地址发货,收到开始折腾,就有了下文书的内容。
献上传送门:
第一章:真空系统
第二章:真空腔焊接制作与分子泵驱动改进
第三章:真空腔设计改进及电子枪试验
下面开始正经的 先看下这个真空腔和土造电子枪系统最后一眼
请叫我变形金刚!
接下来就是改造了,等待几天等到了之前说的电子枪
箱子挺大的 还挺沉的...........扛上来差点累死我
拆箱 里面是这么两样东西电子枪主体和电子枪气密阀
侧面看一下 电子枪灯丝到高真空系统的管路
顶部电子枪总成固定片和扫描信号聚焦高压灯丝连接头
通过真空管路接口可以看到电子枪组件
从底部看能看到扫描极板和二次电子探测器的安装孔和电极引出线
拆掉电子枪组件的压圈准备抽出电子枪看看学习一下结构
电子枪总成 看着挺精密的
这边是灯丝组件的引出线和韦氏冒高压引出线
这边是扫描偏转电极 这个电子枪由于年代久远,还是用比较古老的静电偏转现代的电镜系统早已使用电磁偏转代替了
这是一堆砸碎,本次改造只使用电子枪主体其余部分丢箱子里暂时不用
稍安勿躁 楼下继续
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