SK海力士DRAM遭遇生产事故 high-k材料存在质量问题

west001 · 发表于 2023-2-21 08:43:52

爱科技、爱创意、爱折腾、爱极致，我们都是技术控

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？立即注册

x

SK海力士去年宣布，已成功开发出全球首款集成HKMG工艺的LPDDR5X内存，采用1αnm工艺制造，并开始推向市场。不过近期SK海力士在DRAM生产过程中出现事故，原因在于high-k材料存在质量问题。

据The Elec报道，这起DRAM生产事故的原因是SK Trichem提供的锆（Zr）基high-k材料含有杂质，导致SK海力士DRAM工厂的部分生产设备停止运行。SK海力士表示，由于立即安排了清洁等措施应对，所以事故没有造成生产上的损失。

SK海力士称，正在对SK Trichem造成的设备生产中断和更换零件等情况进行必要的审查，会按照合同条款对SK Trichem要求赔偿。目前SK海力士已暂停从SK Trichem采购材料，直到问题解决为止。

为了应付未来一段时间的生产，SK海力士所需的high-k材料暂时由UP Chemical和M Chemical供应。其中UP Chemical在数年前被国内企业收购了96.28%的股权，这是全球仅有的三家实现半导体存储芯片SOD产品稳定量产供应的半导体材料厂商之一。

SK Trichem表示，这次事故的原因是其提供的high-k材料的纯度有问题，导致某些设备的压力增加，从而出现停产。high-k材料属于前驱体材料，沉积在DRAM电容器的原子水平上，由于电容器直接决定DRAM的性能，因此high-k材料的质量至关重要。目前SK Trichem仍在为SK海力士同一生产线的其他设备提供材料，并计划在本月末向SK海力士恢复供应，提供符合质量要求的产品。