不用光刻机也能造芯片，佳能推出5nm芯片生产设备

数码芝华士 · 发表于 2023-10-15 18:59:33

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佳能（Canon）公司近日发布新闻稿，开始销售芯片生产设备 FPA-1200NZ2C，表示采用不同于复杂光刻技术的方案，可以制造 5 nm芯片。

佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者 ASML 不同，并非光刻，而更类似于印刷，没有利用图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上。

这套设备可以应用于最小 14 平方毫米的硅晶圆，从而可以生产相当于 5nm 工艺的芯片。

佳能表示会继续改进和发展这套系统，未来有望用于生产 2nm 芯片。

IT之家注：纳米印刷（Nanoprinted lithography）通常被认为是光学光刻的低成本替代品，SK 海力士和铠侠等存储芯片制造商过去曾尝试过使用。

铠侠此前进行过测试，不过潜在客户提出投诉，认为产品缺陷率较高，最后选择放弃。

中国花果山 · 发表于 2023-10-15 19:30:18

不用光刻机也能造芯片？

heju · 发表于 2023-10-15 19:31:29

这个设备好啊，不再受漂亮国的控制了

windows9650 · 发表于 2023-10-15 22:19:37

heju 发表于 2023-10-15 19:31
这个设备好啊，不再受漂亮国的控制了

我提一嘴啊——佳能是日本公司

fjytsk · 发表于 2023-10-15 23:54:57

是不是华为就是用这个技术路线？

wangcanbie · 发表于 2023-10-16 01:36:38

又不卖给咱们，没啥高兴的。

huy123 · 发表于 2023-10-16 08:37:28

有点象以前的相机胶片底片的意思

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[业界] 不用光刻机也能造芯片，佳能推出5nm芯片生产设备