日本批准向三星出口氟化氢：用于清洗和蚀刻晶圆

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　　7 月 1 日，日本政府宣布将韩国移除对外贸易白名单，韩国进口日本公司的三种原材料——光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢需要提前 90 天申请，这些材料是生产柔性屏面板、半导体芯片的重要原料，而这两个行业又是韩国的经济支柱。

　　随后在 8 月 8 日，日本批准了向韩国出口 EUV 光刻胶，这种材料用于芯片生产，帮助厂商在硅晶上绘制芯片，该材料对于三星而言至关重要。

　　现在，第二种关键材料的贸易许可也来了。8 月 30 日，据外媒报道，日本已批准向三星出口氟化氢，氟化氢是蚀刻和清洗晶圆的关键材料，三星能在明年年初用到这种材料。

　　高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种，在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程。

　　据报道韩国以及中国的半导体厂商一直都从日本进口即买即用的氟化氢。日本的氟化氢真的就比中国产的好么？有业内人士评论，全世界制造佛化氢的工厂都是 99.99% 纯度，用于蚀刻是够用的，日本产的氟化氢纯度更高，能在小数点后面多几个9。另外由于日本目前是氟化氢最大供应国，产能高，价格便宜，而能用到氟化氢的半导体制造企业数量并不多，所以习惯上都是用日本的。