光刻机冷却关键材料氦气受战乱冲击 台积电回应：影响不大

刘绪刚

                     快科技3月14日消息，最近半个月全球战乱又起，不仅严重影响了石油、天然气等能源供应，甚至还对半导体行业有影响，尤其是氦气。
对于当前的氦气紧缺担忧，全球最大的晶圆代工厂台积电也做出了回应，表示目前不会对运营有重大影响，但会保持关注。

半导体工艺极为复杂，需要用到多种特种气体，氦气就是其中用量较大也很重要的一种，它的沸点低至-268.9℃，是自然界中最难液化的物质，具备极强的化学稳定性、导热性与渗透性。
在半导体生产过程中，光刻机及离子注入机都需要用氦气冷却，还是晶圆清洗、蚀刻工艺中的保护气体，对稳定生产很重要。
根据Yolo的数据，3-7nm工艺的晶圆每片生产需要120升氦气，3nm以下的先进工艺则要150升，而且7N纯度也提高了一个量级。
全球氦气生产主要来自天然气，因此主要能源国在这方面优势很大，产量第一的是美国（资源量能占全球40%）。
中东地区的卡塔尔今年来成为世界第二，去年产量6000万平方米，占全球1/3左右，也是我国进口的主要来源，美国进口的数量因为众所周知的原因已经是极低占比了。