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数码之家»社区 › 数码大家谈 › 数码杂谈 › 居然有人DIY光刻机
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[综合] 居然有人DIY光刻机

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猪小呆
发表于 前天 08:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
https://www.bilibili.com/video/BV1dRTa6gEdq
一位DIY爱好者自制无掩模光刻机，目标是1微米特征尺寸致敬1978年首台商用步进光刻机。他利用DLP开发套件和DMD芯片搭建光学系统，经历多次设计失误、部件故障和光刻胶问题后，最终放弃原方案改用掩模投影系统。经过大量调试，成功实现2微米分辨率，达到1980年代技术水平。


光刻机

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douzi707
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全利88
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laipihou
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xushu
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dick_c
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heju
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wy71h
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