台积电首创干式EUV光罩洁净技术，累计节省超4.7亿元

waffle

来源: 爱集微

据台媒报道，台积电导入干式极紫外光（EUV）光罩洁净技术，提升能源与资源使用效率，累计创造改善效益达新台币20亿元（约合人民币4.76亿元）。

台积电创新研发的干式EUV光罩洁净技术从2018年开始导入试产，2019年开始进一步发展干式EUV光罩洁净技术自动化，已于今年1月全面导入12英寸晶圆厂区量产。

据了解，台积电创新研发干式EUV光罩洁净技术，通过干式技术快速去除落尘，取代需要使用纯水与化学品的湿式清洁手法；同时以次纳米级分析技术精准定位落尘来源，从根本排除污染源，至2020年成功使落尘削减率超过99%，导入试产迄今累计节水量约735公吨，降低化学品使用量约36公吨。

另外，干式洁净技术导入后大幅缩短光罩保修频率与时间，使光罩使用率跃升超过80%，并延长先进制程EUV光罩寿命，累计创造的改善效益达20亿元。